GB/T 16595-1996 晶片通用网格规范
作者:标准资料网 时间:2024-04-20 18:28:30 浏览:8557
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基本信息
| 标准名称： | 晶片通用网格规范 |
| 英文名称： | Specification for a universal wafer grid |
| 中标分类： | 冶金 >> 金属理化性能试验方法 >> 金属物理性能试验方法 |
| ICS分类： | 电气工程 >> 半导体材料 |
| 发布部门： | 国家技术监督局 |
| 发布日期： | 1996-01-01 |
| 实施日期： | 1997-04-01 |
| 首发日期： | 1996-11-04 |
| 作废日期： | 1900-01-01 |
| 主管部门： | 国家标准化管理委员会 |
| 归口单位： | 全国半导体材料和设备标准化技术委员会 |
| 起草单位： | 中国有色金属工业总公司 |
| 出版社： | 中国标准出版社 |
| 出版日期： | 1997-04-01 |
| 页数： | 平装16开， 页数：7， 字数：10千字 |
适用范围
本标准规定了可用于定量描述公称圆形半导体晶片表面缺陷的网格图形。
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所属分类： 冶金 金属理化性能试验方法 金属物理性能试验方法 电气工程 半导体材料
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